従来の人工水晶に比較して、レーザー照射による劣化を1/5～1/6以下に抑制し、半導体露光装置などに用いられる高強度なレーザーに対する耐光性を大幅に改善しました。偏光解消板や波長板のような偏光光学素子、回折光学素子、プリズムの材料として最適な人工水晶材料です。
使用用途
- プリズムの材料など
従来の人工水晶に比較して、レーザー照射による劣化を1/5以下に抑えております。
透過率
代表的特性
| Grade | CQ | ||
|---|---|---|---|
| 内部欠陥 | IEC758/JIS C 6704 | Ⅰb | |
| 熱膨張係数 (30-100℃) | Z軸 | 8ppm/K | |
| X軸 | 14ppm/K | ||
| 屈折率 | at 589nm | 1.54 | |
| レーザー耐久性 | 感光変化 | なし | |
| 透過率劣化 | /pls x 0.18Mpls | ＜0.3％/cm | |
| 比重 | g/c | 2.65 | |
| 熱伝導率 (200℃) | K(W/m-℃) Z軸 |
6.6 | |
| K(W/m-℃) X軸 |
4.1 | ||
- データは参考値であり、保証値ではありません。
ArFレーザー耐久性
通常人工水晶とCQにおける、ArFレーザー照射による吸収係数＠193nmの変化の比較
ArFレーザー照射後の吸収係数曲線の比較
